按照冷却方式的不同，臭氧发生器可分为多种，水冷臭氧发生器是其中之一。工业臭氧发生器的臭氧发生量较大，一般为大型臭氧发生器，这种发生器多用水进行冷却。
臭氧发生器在产生臭氧的过程中，会产生热量，使机器内部的温度升高。而较高的温度会分解臭氧，促使臭氧还原成氧气，降低臭氧的发生量。所以，在生成臭氧的过程中，必须对臭氧发生器进行冷却，才能稳定并提高臭氧的发生量。
臭氧发生器的冷却方式包括风冷、水冷、油冷。工业臭氧发生器多为大型臭氧发生器，常用水冷方式进行冷却。
在设计和使用工业臭氧发生器的过程中，必须遵循相关规则，才能获得高产量的臭氧，才能保障臭氧发生器正常运行。这些规则主要包括以下几方面——
1.臭氧发生器内的气体中不可含烃类、腐蚀性气体和任何其他能在氧／臭氧／电晕环境内发生反应的物质，这些物质会对臭氧发生器产生损害，且可能引发爆炸等安全事故。
2.在设计水冷臭氧发生器时，要防止大量水进入发生器内部的可能性。如果水封供气压缩机用的浮阀或空气干燥器上的凝结水阀阻塞卡住，谁都会进入臭氧发生器电晕室内，继而导致电晕集中、高电流密度和局部电介体发热，导致介电体过早失效。
3.合理控制供气压力的变化。气压会影响电晕功率诱导和跨越介电体所加电压，大范围压力变化将导致发生器运行不可靠。超出电晕功率范围，会导致熔断器或自动断电器断开。如果超出外加电压峰值，还将造成介电体过早失效。
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